Semiconductor
Instrumentos de presión para la fabricación de semiconductores
Se espera que el importante crecimiento de la industria mundial de semiconductores en los últimos años continúe hasta 2021 y más allá. Entre los factores clave que contribuyen a ello se encuentran el aumento de la incorporación de la microelectrónica en los dispositivos eléctricos y electrónicos, la inteligencia artificial, el IoT (Internet de las cosas) y la expansión de las iniciativas de la Industria 4.0. A medida que se producen estos cambios, los proveedores de semiconductores se enfrentan al reto de mejorar la oferta para satisfacer la demanda, es decir, aumentar la densidad de transistores, mejorar la fiabilidad y, por supuesto, reducir los costes de producción y compra.
Ashcroft está listo y dispuesto a ayudar a los fabricantes de semiconductores a asumir y superar este reto. Equipados con una amplia experiencia específica en la industria, tenemos los conocimientos y habilidades para ayudar a desarrollar, diseñar, fabricar y probar los instrumentos y equipos necesarios para la producción de semiconductores de alta calidad.
Ofrecemos diversos productos de medición de la presión, incluidos transmisores con nuestra tecnología de detección CVD ultraestable patentada, aptospara su uso en aplicaciones de fabricación de semiconductores. Las prestaciones de nuestros productos van acompañadas de homologaciones de seguridad mundiales y un legado de rendimiento en las aplicaciones de semiconductores más críticas.
En las herramientas de semiconductores, el panel de gas controla el flujo de gas en la cámara de proceso. Los transductores de presión se instalan en el interior del panel de gas, en cada una de las varillas de gas, para controlar la salida de presión del regulador de presión. Esta posición les permite enviar señales que ajustan el funcionamiento del sistema con mayor precisión, exactitud y rapidez, lo que se traduce en un mejor funcionamiento general del sistema.
Importancia de la medición de la presión en la fabricación de semiconductores
En la actualidad, las operaciones de fabricación de semiconductores dependen del suministro preciso y exacto de gases de pureza ultra alta (UHP), que requieren niveles de pureza superiores al 99,9995% y un control estricto de las partículas dispersas y la humedad. Dada la importancia de los sistemas de suministro de gases UHP, las tecnologías de medición y control utilizadas para su distribución deben ofrecer un rendimiento de alta precisión y exactitud al tiempo que mantienen una limpieza absoluta dentro del sistema. Los materiales de construcción deben permanecer inertes en contacto con los gases UHP, minimizar el riesgo de volumen atrapado (muerto) y evitar el desprendimiento y el atrapamiento de partículas.
Aunque son esenciales para la fabricación de los semiconductores modernos, la toxicidad e inflamabilidad de los gases UHP plantean riesgos significativos para la salud y el bienestar de quienes los manipulan. Por este motivo, algunos dispositivos utilizados en operaciones con semiconductores deben cumplir especificaciones y normas de integridad de fugas y ubicaciones peligrosas (por ejemplo, ATEX e IECEx) para garantizar la seguridad de los usuarios.
Instrumentos de presión Ashcroft para la fabricación de semiconductores
Transmisores de alta pureza ZT y manómetros de alta pureza HPX
Nuestros transmisores de presión ZT/ZX y manómetros HPX están especialmente diseñados para su uso en aplicaciones de semiconductores. Estos productos incorporan piezas húmedas de acero inoxidable 316L electropulido y racores modulares y soldables compatibles con VCR con volúmenes muertos mínimos. Tienen diseños compactos que se adaptan a configuraciones de montaje de mayor densidad dentro de cajas de gas y sistemas de suministro de gas. La ZX11 incluye homologaciones ATEC e IECEx para ubicaciones peligrosas.
Soluciones de medición de presión de alta pureza Ashcroft
Transductor de presión ZL91, transductor de presión ZL92 y Manómetro presión HPT - 63 mm
El transductor de presión Ashcroft ZL91 está construido con partes húmedas de fluoropolímero (PTFE/PFA) que minimizan la elución de iones metálicos. Su diseño compacto ayuda a reducir la contaminación y mantener la pureza de su fluido de proceso. Este transductor es muy adecuado para instalaciones y equipos de agua ultrapura/desionizada, equipos de limpieza para semiconductores y aplicaciones de estación húmeda.
El transductor de presión Ashcroft ZL92 está diseñado para su uso en procesos de semiconductores que requieren piezas húmedas de PTFE/PFA para mejorar la compatibilidad química para su uso en gases y fluidos corrosivos, incluyendo ácido fluorhídrico u otros ácidos agresivos. Un diafragma de aislamiento secundario y un diseño de venteo aíslan el elemento sensor cerámico de gases y líquidos corrosivos, lo que prolonga la vida útil del transductor. Este transductor funciona bien en equipos de limpieza de semiconductores, grabado húmedo y sistemas de suministro de productos químicos.
El Ashcroft 63 mm HPT ofrece un rendimiento y una fiabilidad excepcionales para los sistemas de suministro de productos químicos en las industrias de fabricación de semiconductores y electrónica. Está sometido a pruebas de fugas de nitrógeno para garantizar una integridad superior, mientras que su diseño compacto es ideal para instalaciones en espacios limitados. El manómetro está fabricado con piezas húmedas de fluoropolímero, lo que lo hace compatible con procesos que utilizan fluidos corrosivos o no contaminantes. En procesos no contaminantes, las piezas húmedas evitan la elución de iones metálicos, lo que resulta perfecto para procesos con agua ultrapura o desionizada.
Transmisores y transductores de presión de bajo diferencial para salas y espacios limpios
Muchos de nuestros transductores de presión diferencial -incluidos los DXLdp, CXLdp, AXLdp y GC30- están integrados con tecnología Si-GlasⓇ, que les ayuda a adaptarse a las necesidades de supervisión y control altamente críticas de las aplicaciones de presión diferencial ultrabaja. Los rangos de presión tan bajos como 0,05 pulg H2O (12,5 Pa) permiten el control más estricto a presiones increíblemente bajas.
Nuestros manómetros de la serie 1130 están diseñados para su incorporación en cajas de guantes, equipos de manipulación de obleas y paneles murales con rangos de presión diferencial tan bajos como 0,6 pulg. de H2O (150 Pa).
Tecnología de sensores Ashcroft Si-Glas
Preguntas frecuentes
¿Existen otras escalas y opciones de esfera para los manómetros HPX?
¿Existen otras conexiones de presión disponibles en los transmisores de presión ZT/ZX?
¿Cómo se envasan los productos Ashcroft de alta pureza?
Confíe en los expertos de Ashcroft
En Ashcroft, estamos aquí para ayudarle a identificar la instrumentación de presión y temperatura adecuada. Hemos diseñado instrumentos de medición de presión para grabado con agua ultrapura y desionizada, panel de gas y sistemas de suministro de gas para aplicaciones de semiconductores.